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气体管道安装流程

　　1、施工前准备：真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。

　　2、材料防腐：防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。

　　3、管道配管：冷热管尽量分开布置，分不开时，热管在上，冷管在下；真空管线应尽量短，减小阻力，达到更大真空度。

　　4、支架第i一阶段安装

　　5、管道安装及支吊架第二阶段安装

　　6、管道对口、焊接：对口的关键是破口要合适。焊接时，要注意选择与管道材质相匹配的焊条，用评定好的焊接工艺进行焊接。

　　7、阀门及特殊部件的安装

　　8、支架和管道安装符合性检查

　　9、严密性试验及水压

　　10、系统的冲洗和吹扫

　　11、支吊架调整

　　12、安装结束及记录文件整理

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气路系统百科知识

　　气路系统主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体，如氢气、乙i炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。

　　概述;

　　在现代化的实验室中，为了完成实验，需要用到多种分析仪器，如气相色谱仪，原子吸收，气—质联用仪，ICP等等，其中这些仪器需要用到高纯气体，传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式，这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用，但随着近年来实验室投资的不断加大，仪器设备的迅速增加，用气量也逐年增加，传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求，同时分散供气模式带来的实验室布局混乱，钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难，为了解决以上两个方面的问题，就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气，这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。